1、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。
　　
　　2、激光干涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。
　　
　　3、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
　　
　　4、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
　　
　　5、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。
　　
　　6、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。
　　
　　7、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。
　　
　　8、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
　　
　　9、在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
　　
　　10、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。